Описується розробка, принцип роботи та результати використання ємнісного датчика тиску на кремнії, який поєднується зі спеціальним інтерфейсним схемотехнічним рішенням на основі КМОП-технології. Інтерфейсна схема призначена для підтримки стійкості до паразитних ефектів і виводить сигнал, пропорційний тиску. Датчик виготовляється за допомогою стандартної фотолітографії, мікрообробки методом KOH та анодно-скляного зварювання на рівні пластин. Розміри пристроїв становлять 2,2 х 3,5 х 0,8 мм, а ємність при нульовому тиску становить 10 пФ з можливістю зміни до 250% при зміні тиску. Інтерфейсний чіп призначений для усунення недоліків ємнісного перетворення, таких як чутливість до шумів, нелінійність вихідної характеристики та ефект паразитних ємностей. Чіп перетворює незначні зміни ємності в завадозахищений вихідний сигнал, а лінійність досягається за допомогою інверсії гіперболічної залежності ємності від тиску. Додаткова лінійність досягається за допомогою нової схеми підсилення. Можна досягти показників лінійності, чутливості та точності, необхідних для комерційного використання інтегрованих емнісних механічних датчиків тиску в різних промислових сферах, таких як автомобільна та медична промисловості, контроль якості повітря та рідин у виробничих процесах тощо.